发布时间:2025-11-19 14:19:54德国柏林 - 2025 年 3 月 26 日 - 今天,布鲁克宣布推出 eWARP,这是一种突破性的新型电子背散射衍射 (EBSD) 探测器,标志着 EBSD 技术新时代的到来。新型 eWARP(宽 ARea 像素化传感器)采用革命性的布鲁克设计相机,结合了直接电子检测和 CMOS 技术,是有史以来速度最快、信号效率最高的 EBSD 探测器,极大地突破了扫描电子显微镜 (SEM) 材料表征的极限。
与市场上其他使用现成传感器进行直接电子检测的EBSD探测器不同,eWARP的混合像素传感器和高速信号处理电子设备采用第一性原理方法设计,并考虑到EBSD的特定要求。因此,eWARP 的性能大大优于现有解决方案,特别是在信号效率和采集速度方面,为用户提供了改变游戏规则的新分析机会。
结合我们的 ESPRIT 软件套件,eWARP 能够在低至 10 kV 加速电压和 12 nA 探针电流的电子束设置下采集每秒多达 14,400 个图案的 EBSD 图。eWARP 的核心是首款获得专利的 CMOS 器件,具有传感器分档功能。当在分档模式下运行时,传感器执行前散射电子 (FSE) 和反向散射电子 (BSE) 成像,每秒可达 350,000 个图案。
这种性能的巨大飞跃将对EBSD技术的未来潜力产生变革性影响,特别是当涉及到高空间分辨率、低电子能和/或短曝光时间至关重要的具有挑战性的应用时。例如
现在可以在更短的时间内以更高的像素分辨率或覆盖更大的体积完成 3D EBSD 数据的自动采集,
超细晶粒或严重变形材料的表征将极大地受益于低至 20 nm 的空间分辨率提高,同时仍以超高速运行,
时间分辨EBSD映射,即每隔几秒钟采集一次重复的映射和图像,将变得可行,有助于在原位加热和/或机械测试实验中了解材料内部的微观结构变化。
除了卓越的分析性能外,eWARP的革命性设计还保证了最低的拥有成本和最长的正常运行时间,因为远程探测器监控用于预防性/预测性维护,可现场更换的相机模块和用户可升级的固件,以实现未来的性能和功能改进。
“我们非常高兴推出 eWARP,这是一款体现我们对创新和卓越的奉献精神的新产品,”布鲁克 EBSD 高级产品经理 Daniel Goran 博士说。“在数据采集方面实现了全新的性能水平,我们相信由此产生的新分析能力和更高的生产率将有助于显着进一步提高EBSD技术在学术界和工业界的采用。”
eWARP – 世界上最快、信号效率最高的 EBSD 探测器
布鲁克正在使科学家和工程师能够取得突破性的后基因组发现,并开发提高人类生活质量的新应用。布鲁克的高性能科学仪器以及高价值的分析和诊断解决方案使科学家能够在分子、细胞和微观水平上探索生命和材料。通过与客户的密切合作,布鲁克正在后基因组生命科学分子和细胞生物学研究、应用和生物制药应用、显微镜和纳米分析、工业和清洁技术研究以及支持人工智能的下一代半导体计量学中实现创新、提高生产力和客户成功。布鲁克在临床前成像、临床表型组学研究、蛋白质组学和多组学、空间和单细胞生物学、功能结构和凝聚物生物学以及临床微生物学和分子诊断领域提供差异化、高价值的生命科学和诊断系统和解决方案。
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